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真空午夜成人在线观看国产午夜精品一区工艺中各因素对膜层沉积的影响有多大?
来源: | 发布日期:2022-11-25

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靶功率:磁控溅射本身粒子初始动能比较小,离化率低,电源功率越大,溅射出的粒子的初始能量越大,靶材溅射量也越大,沉积速率越快,膜层容易厚度和硬度,同时工件温升也大,过高的功率会使沉积速率太快,粒子来不及表面迁移和扩散,易形成阴影效应,膜层会比较疏松,应力较大。

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弧靶电流:弧靶电流越大,靶材蒸发量越大,靶面温度越高,冷却效果越差,弧靶产生的液滴大颗粒越多,膜层外观越差,膜层中的缺陷越多

真空度:真空度是指处于真空状态下气体的稀薄程度,用压强表示,压强越低,其稀薄程度越大,真空度越高。午夜成人在线观看过程中,真空度主要通过控制氩气流量来改变。氩气越少,靶材溅射量越少,但真空度越高,气体分子自由程度越大,散射越少,粒子碰撞几率越小,粒子迁移过程中损失的动量越少,沉积速率越大

烘烤温度:真空室抽气时烘烤有利于真空室和工件解吸已吸附的空气和水气,这是保证膜色调纯正的重要因素之一。

午夜成人在线观看时间:膜层厚度随午夜成人在线观看时间的增加而增加,但不是线形增加,当厚度达到一定的时候,增加速度会变慢最后基本停止,而且午夜成人在线观看时间越长膜层应力越大,外观越差,甚至有可能会崩膜。

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