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磁控溅射技术会用到哪些气体?
来源: | 发布日期:2022-08-15

磁控溅射技术 沉积的膜层均匀、致密、针孔少,纯度高,附着力强,可以在低温、低损伤的条件下实现高速沉积各种材料薄膜,已经成为当今真空午夜成人在线观看中的一种成熟技术与工业化的生产方式。磁控溅射技术就是利用电磁场来控制真空腔体内气体“异常辉光放电”中离子、电子的运动轨迹及分布状况的溅射午夜成人在线观看的工艺过程。

磁控溅射技术

镀金属膜时,一般用氩气作为工作气体,它是惰性气体,在真空状态下加热基片时不会发生氧化作用;

氧气一般用于镀非金属膜,如TiO2,不必担心镀好膜后发生膜氧化现象;

氮气是在换靶午夜成人在线观看时往真空室冲入的气体,让真空室内压强和大气压强保持相等,才能开盖换靶镀另一层膜。

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